旺宏(2337)總經理盧志遠6月24日為其自家3D NAND Flash新技術舉行發表會,原本預計1個半小時的活動,卻因技術出身兼博士學者背景的盧志遠談到這項技術的研發過程時,興致高昂欲罷不能,整整花了3個多小時說明。但當記者問其何時可量產時,盧志遠透露,最快也要至2014年以後,讓在場財經記者不知是該以利多訊息下筆,還是純以產業領先技術著墨。
繼21日爾必達社長?本幸雄、力成董事長蔡篤恭與聯電孫世偉宣布共同投入3D IC新製程技術TSV(直通矽晶穿孔Through-Silicon Via;TSV)後,24日專注於NAND Flash生產的旺宏也宣布3D新技術。
盧志遠表示,3D NAND Flash是採用75奈米BE-SONOS charge-trapping技術,通過組合8層結構單元,將每個單元記憶體(cell size)面積縮小至0.0014(um)2,為全球最小的3D VG NAND。且實驗顯示它除了沒有單元記憶體間垂直方向的相互干擾問題,同時具有良好讀取電流與多位元記憶能力。
擁有美國哥倫比亞大學物理博士學位的盧志遠對於新技術相當熱中,甚至怕記者不了解,整場記者會盧志遠幾乎是上了堂3D NAND Flash新技術的課程,因此前半段就花了近2個小時,原本預計1個半小時的活動,到下午4點多才進入問答時間。
盧志遠表示,這項新技術,等於退回至75奈米,讓電流量充裕下,利用新技術依舊達到微縮與效能提升雙重效益,這是3D堆疊技術帶來的創舉,預計至2014年產業界將大舉投入。