矽晶圓片在晶圓廠的應用,可區分為一、正片,直接用於半導體加工,包括拋光片、外延片等,二、用於監控測試的矽片,包括控片、檔片(測試晶圓片)。
什麼是正片、檔片、控片?
晶圓廠隨時需要對製造設備的性能進行監控測試,維持穩定,確保最終的產品良率,如果直接使用正片測試成本太高,所以廠商會使用較便宜的無圖形矽片,這些用於測試和維持穩定的無圖形矽片就是「控片和檔片」。
控片分成兩種,「離線測試」:在正式生產前,先用控片測試,看機台設備調校是否符合生產標準。「線上測試」:是指控片和真正的產品一起進入生產線,透過控片最後的效果來判斷這一批生產是否符合標準。兩種測試都是用來監控機台的製程能力是否穩定、生產環境是否潔凈。
檔片主要作用是維持機台的穩定性,在爐管中,檔片用於對爐管內的氣流進行阻擋分層,使爐管內溫度均勻分佈,使氣流中的氣體與被加工的矽晶圓片平均受熱,發生化學及物理反應,沉澱或生長均勻的高質量薄膜。
隨著晶圓廠製程不斷演進,生產過程中良率與精準度的要求越來越高,幾乎每道製程都需要使用檔控片,用量與需求有擴大趨勢,在晶圓代工廠65奈米製程,每十片正片需要耗用六片檔控片,28奈米以下製程,每十片正片需要15-20片檔控片,耗用量相當驚人。
再生晶圓
檔控片的來源,除了從「矽晶圓晶棒」兩側取品質較差處使用,主要就是重複回收再利用的檔控片,因為消耗量實在太大,如果每次都使用全新正片,成本太高,於是就有了「再生晶圓」這個產業。
把用過的檔控片回收,經過化學浸泡,物理研磨等方法,將檔控片表面因測試而產生的氧化膜、金屬顆粒殘留等去除,使重新具備測試和穩定機台穩定性的功能。一般來說,檔片通過研磨拋光,可重複循環使用五次左右;控片則視製程而定,有些特殊製程的控片完全無法回收使用。
通常再生晶圓的製程都是使用化學品,將晶圓表面的各種膜層腐蝕掉,會使用多種不同的化學品,洗完以後再對矽晶圓表面進行研磨拋光等處理,並確保表面乾乾淨淨,達到可重複使用標準。
日本株式会社RS Technologies(4955.JP)在1984年就進入這個產業,再來是中砂(1560)1997年,昇陽半(8028)1998年,辛耘(3583)2006年才正式進入再生晶圓產業,展望未來5G、車用、物聯網對晶片龐大的需求,12吋晶圓先進製程需求大增,大家想想檔片、控片用量有多大,全球目前有138座12吋晶圓代工廠,每個月都大約有四千至五千片無法用傳統方式再生檔控片,整體市場規模龐大,更不用說聯電八吋晶圓代工供不應求,製程中會耗用多少檔控片!再生晶圓產業商機龐大!
原本從事特殊氣體的晶呈科技(興櫃4768)在今(2020)年第四季開始跨入量產12吋再生晶圓,獨家專利氣態分解溶蝕技術,利用氣體分子更小、效果更強的特性,材料用量僅傳統濕式化學品1%,成本更低、更環保。
這幾家就壟斷市場
以2019年12吋再生晶圓市場來看,日本RS全球龍頭每月產能40萬片,占全球33%,另外兩家日本公司Hamada Heavy與Mimasu約占30%,中砂、辛耘、昇陽半約占30%,晶呈科技才剛剛起步,2020年第四季起月產能三萬片。
以2019年資料來看,台灣月產能約60萬片,昇陽半月產能24萬片,台灣市佔率約40%;中砂月產能18萬片,市佔率約30%;辛耘市佔率約20%。
商機龐大&正在漲價
根據SEMI預測2021年全球八吋、12吋矽晶圓市場需求將分別達到每月650萬片和680萬片,按照再生晶圓需求比例計算,2021年全球再生晶圓市場需求有望超過每月200萬片。
目前12吋矽晶圓每片100-120美元,再生晶圓每片30-40美元。隨著矽晶圓價格上漲,再生晶圓價格也呈現上漲趨勢。
台積電的好夥伴
昇陽半雖然成立時間晚,但市占率最高,主要客戶是台積電,除了做再生晶圓以外,晶圓薄化(降低導通電阻),還有旗下持股71.51%的昇陽電池,研發鋰鐵電池100%台灣製造鋰電池芯與電池組,可應用於太陽能、風電發電,再生能源儲能系統,與台積電目前正在更換不斷電系統電池,用友善環境的「鋰鐵電池」全面取代鉛酸電池,預計2030年前將全面更換完畢。
未來隨著AI、5G、自駕車、電動車…的發展,下游晶片需求強勁,晶圓廠滿載供不應求,全球正在擴產12吋半導體廠,再生晶圓市場一定只會越來越大,就看誰能搶到最多市佔,抓住最多商機。
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